吸过滤器,莫不提醒着众人这里是1k等级的洁净室。所谓1k洁净室,也就是要求0.5微米的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,相比泛翰晶圆厂生产单晶硅车间的a类洁净室3500微尘的要求,这里的投资可不是提高三五倍那么简单。
超高的无尘要求,意味着这里是以生产高等级集成电路芯片为目的建造的。
“这是!”涂岸北震惊的看着蜂巢里,排成一排的设备。虽然确定没有见过实物,但他却万分觉得眼熟。
“是中科院微电子中心,在今年上半年刚刚完成的0.8微米技术,包含光刻机、cvd离子注入、检测等设备的整套cmos集成电路制造系统。”周硕踌躇满志的说道:“而我们的任务就是在接下来一个月时间里,将它们改造成一条0.5微米技术的生产线。”(未完待续……)
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