的准确线宽测量上,我们得到的数值基本符合纯水1.4的折射率。”
“可是,浸入式光刻技术需要解决的问题有很多。”永山绚斗下意识的反驳道:“隔水光刻胶,空气排出和光源。浸入式技术早在八十年代就有人提了出来,但是一直没有进入实际应用就是因为它需要克服的问题太多。”
“总之,先把芯片送回国内去做个测试吧。”白石茉莉奈摇了摇头,站起身来说道。
如果泛翰集团真的掌握了浸入式光刻技术……
白石茉莉奈晃了晃头,几乎不敢想象这一点将对整个世界的电子产业布局产生什么样的影响。唯一能够肯定的是,尼康内部一定会为此掀起滔天巨浪。唯一的好处就是,她的失职恐怕不会再有人去追究了。和浸入式技术比起来,纳米光栅技术在尼康看来根本不值一提。
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