侃而谈道:“我们的光源使用的是的i线弧光灯光源,这样在经过纯水的折射之后,它的波长就变成了。而纯水,必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍,那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的,所以必须使用特制的……”
周硕倒是不怎么在乎保密的问题,如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去,那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年,才逐渐投入使用的技术。真要是形成论文,绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中,非常重要的一个方面。
他们向实验室内部走去,很快就到了一台机器前面。很明显,白石茉莉奈一眼就看出来,这是一台尼康生产的0.5微米光刻机。此时它能够出现在这里,不言自明是作为改装实验设备。
果然,周硕指着这台两人高的机器说道:“二位,这就是我们泛翰研究院改装之后,性能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”
“经过改装后,它的加工能力达到了0.352微米水平。遗憾的是虽然加工能力提升,但它的良品率也下降了百分之十。”
白石茉莉奈抓住机会,突然打断了周硕的话说道:“周桑,我能离近了观察一下吗?”
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:“当然可以,实际上我正想演示一下它的运转过程。如果方便的话,白石经理请你帮忙操作一下旁边的光源系统。”
与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁,开始在键盘上操作起控制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉,在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置。
随着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在细微的电机声中突然转动了起来。一片晶圆在机械手的操作下被
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