在他们看来,即使intel再怎么不高兴,总归还是不能把之前吃过的话咽回去吧?
史蒂芬和詹姆斯等考察团的一行人,跟随着鹤田穿过人群进入了尼康的总部。经过泛翰集团改造的光刻机,被安放在了尼康的地下实验室里。杂乱的脚步经过长长的通道,向下行了数十米的距离,这才进入了一处纯白的空旷空间。
要说日本人的细节做的确实是好,明明在国内看起来风格朴实的设备,放在人家的实验室里顿时就高大上了起来。
安装了新光刻机的实验室,一侧是开放式的全玻璃幕墙。可以让人不用换上繁琐的防尘服,就从容的观看里面的设备。
“诸位请看,这就是我们尼康研发完成的0.25微米光刻机。”鹤田骄傲的站在玻璃幕墙的一侧,指着里面一台和原来的0.35微米光刻机相差无几的设备,侃侃而谈道:“我们尼康使用了一种全新的技术,可以在现有的0.35微米光刻机生产线上,通过相当的改造升级成0.25微米工艺。”
“主要是更换了光源系统、对准系统,以及加装了一套沉浸式光刻镜头……”
鹤田这话一说出来,人群里顿时就是一片窃窃私语。沉浸式光刻并非是什么新鲜的东西,八十年代的时候就有人提出了类似的设想。
但和改进镜头的加工精度相比,这种方法应该暂时还没有什么成本上的优势啊!
就像鹤田说的,沉浸式光刻可不光是改造一下镜头就可以了。首先需要更换光源,把弧光灯的滤光系统提高到i线的波长来。然后还要更换光刻胶配方……
这样一个系列的研发要求,可是比单纯增加加工精度,在九十年代来说要难多了。
这也是为何沉浸式光刻原本历史上,需要等到二十一世纪才时机成熟——这时候增加加工精度的成本,已经高到无法承受了。反而沉浸
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