。国内在机械设计领域中一向比较薄弱，这次的双工件台，说白了有点异想天开的意思——这种技术，理论上是只会诞生在生产光刻机的企业里。”
“精密仪器研究所那边接触光刻机，只是当初各个单位支持国产光刻机研发的时候有过机会，现在他们愿意为了为了国内半导体事业继续往晶圆厂的需求方面走，这是值得赞扬的好事。”
“所以，先不着急，慢慢来。”
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