光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”
如果郑振川和林本坚的团队一同协助，一开始就直奔浸润式duv，那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式duv光刻机。
想到2003年，自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的duv，苏远山就感觉到有点燥热起来。
那该是多么伟大的一次超越啊……
“不，林，赵团队没有解决光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”
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