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第1001章 殊途同归的EUV(4 / 7)

uv国产了?”

苏远山再次笑着望向众人:“国内即将启动验证机了——虽然落后了五年,但在大家的同心协力之下,好歹有了个盼头。对了,此事暂时不宜公开。”

“好了,先休息会,接下来讨论芯片业务。”

……

……

下午,会议提前结束,苏远山下楼便直接走向停车场,却不料李明柳这家伙比他更早一步地站到了车门边。

“你干啥?”苏远山见他拉开车门,哭笑不得。

“知道你要去宏芯那边,我也过去看看。”李明柳一脸的坦然,随着傅振华呵呵地开锁,他一把拉开车门,先一步钻了进去。

苏远山:“……”

不得已,苏远山也钻进了后座,随后韩依依替他关上车门,回到前排后,傅振华便启动汽车,缓缓驶向大门。

苏远山偏头望向李明柳,看了几眼后摇头感慨:“你这家伙,老张都没你积极。”

“老张是腿脚不利索了,再说他那边本来就有宏芯的实验室,时刻关注到的……我一天到晚哪有空过去啊?”李明柳耸了耸肩,随即便正色起来:“你刚才说验证机,是设计中还是什么?”

“据说已经设计完了。”

“嗯,是全反射式的?光源搞定没有?”

“光源据说还差一点,但验证机嘛,主要是验证思路的,不是要解决所有问题的。”苏远山深深地吸了口气,轻声道。

他确实很想看看宏芯这边的验证机设计方案是什么样子的。

——在后世,euv光刻机的概念图到处都是,但在现在……即便是asml前两年“断粮”的时候,都没有公开设计图。

李明柳听了便点了点头,不再说话。

汽车一路驶出大门,上了正道后在右侧拐了个弯,紧接着又前进了两千米左右

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