多晶金刚石薄膜。
如果在同等条件下，将压力提高至310torr下，可以制备出165μm/h的单晶金刚石薄膜。
“气体压力……”
“微博功率……”
陈舟在草稿纸上写下这两个词汇。
拿笔点了两下，随手便划了两个圈。
这是重点。
放下笔，陈舟滑动鼠标，继续看文献的内容。
mpcvd法之所以会成为最广泛的方法，是因为这种方法比dapcvd法制备的金刚石薄膜质量更好。
很好的解决了膜的致密度不高的问题同时，还可以产生大体积的金刚石薄膜。
此外，这种方法还能在曲面或者复杂表面上进行金刚石薄膜的沉积。
而且mpcvd法无内部电极，可以避免电极放电污染和电极腐蚀。
可以说是满足了制备高质量金刚石薄膜的条件。
但是，就像四十三所实验室的装置一样，mpcvd法的沉积速率是硬伤。
看完了这篇详细介绍mpcvd法的文献后，陈舟不禁想到。
“如果有dapcvd法一半的速度，再加上mpcvd法的制备质量，那这事不就成了吗？”
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