cvd法沉积装置,继续说道:“在所有体杂质中,目前公认的有效p型杂质为硼,n型杂质为磷,掺杂的实验方法也就是制备金刚石薄膜的微波等离子体cvd技术,也就是mpcvd法。”
听到吴博士的话,沈靖这才恍然大悟,他就说怎么眼前做实验的这玩意,和昨天看到的制备金刚石薄膜的实验装置是一样的呢?
敢情这两个是差不多的一套装备。
想到这,他又想到了陈舟揽下的课题,难道这家伙是冲着掺杂实验来的?
陈舟奇怪的看着突然看向自己的沈靖,一时没搞懂他是什么意思。
沈靖却还冲他眨了眨眼,模样似乎在说,原来你早就知道这两个工艺是一样的,其实你提出改进制备工艺,就是为了改进掺杂实验做准备的……
当然,陈舟还是没理解沈靖的意思。
如果理解了的话,陈舟大概会说一句:“学长,你终于学会看文献了呀!!!”
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