的莫过于——
“搞出光刻机，挺直腰杆子！”
“陆总，这就是我们自主研发的65nmarf干式光刻机，由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克，下一步就是预生产，在生产中不断改进完善，然后逐步实现量产化。”
孙红军兴奋至极，“预计一到两年，就能全部替代掉asml和尼康的65nm光刻机。”
“还是自己的机器香啊！”
陆飞透过玻璃，看着工作人员有条不紊地操作，余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲，“这么难得的好日子，你们怎么看上去不是很高兴啊，难道是光刻机还有什么质量上的问题，或者技术上的缺陷？”
“陆总，设备没有问题，技术也没有问题，就是……就是有一个坏消息……”
尹志尧一脸为难。
“什么坏消息？”
陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？”
“陆总，asml研发出了全球第一台euv光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。”
尹志尧无奈地叹了口气。
“你看你，又急。”
陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！
euv光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。
第一代光刻机是以436nm的g-line汞灯光源为主，只适用于5μm以上制程。
之后出现了365nm的i-line汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500nm。
这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250nm。
他们生产的65nma
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