准,他只是把可能性最大的方法给实验人员筛出来了,然后再去实际生产验证。最终还是要走实际验证这一步的。”
下边的东西纪弘就看的非常明白了,温控未能起效,ai也是尝试了非常多的其他方案,而其他方案所需要的设备和硬件的参数和数据,更是需要实验室的工作人员去补充。
这些参数和数据应该是务必要求精准的,一旦有差,结果可能就会谬以千里了。
“也不尽是如此,”孙博立即又找出了一个案例:“比如这组数据,我们的工作人员在输入的过程中出错了,哪怕几重校验都没发现。
“但是你看,ai推演了几轮,就告警了,它认为这个数据偏离不符合一般分布,直接让我们确认。”
“用的数学分析的方法?”纪弘问道,他知道,数学统计和分析在一定程度上是能够筛出异常数据的。
“是。”孙博又说道:“但是这种计算,我做不到。或者说,我做不到那么快。”
“跟ai比速度,你才叫找虐呢!”纪弘嘀咕了一句,然后继续往后看ai的处理,ai最终敲定的方案是:
引入校准光路,标定以及引导光路搭建与调节。
而这个方案,实施起来非常之简单,只需要在驱动激光的同轴光路上,加入一个单模低功率绿光激光器就可以了。
不仅如此,这个方案还可以同时应用于稳定控制系统的标定。
最终形成了这么一套光束稳定控制系统,完成了相关的方案。
ai是怎么解决光源长期稳定运行这个问题的,纪弘虽然感兴趣,但他更感兴趣的,是这个分支的ai发生的这些个变化以及应用。
根据申再平的工作记录,以及张博按照ai的需求提供的各个零部件的参数以及整理出来的相关资料,依据这次euv光刻机的研发进程,纪弘总结了如下
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