进度的原因之一。
现在陈国华是有时间，但他不可能还有时间跟那些七八级工人面对面地沟通啊。
所以，等下会议结束之后，剩下的事儿，还是需要章济川他们来搞掂。
“好了，这就是你们要问的超精密数控机床.还有没有其他问题？”
扫了一眼实验室墙壁上的大钟，陈国华这才发现，已经中午放饭时间了。
看着还在举手想要提问的赵菊生，陈国华不由感慨：真的是问题多多啊！
一块透镜罢了，背后涉及到了诸多的技术难关。
搞掂超精密数控加工机床之后，又还有高精度的检测装置，同时还有一个最为难以通过的难关：打磨透镜。
甭以为有了这么牛逼的设备和装置，就可以高枕无忧了，随时都可以打磨出符合极紫外光刻机要求的透镜了。
没那么简单！
要知道，极紫外光刻机需要的透镜，精度之高，前所未有。
只因为极紫外光刻机需要通过精准控制激光器，连续两次照射滴落的液态小锡球，才能够得到波长十三点五纳米的稳定极紫外光。
可是这时候的光源并不能直接拿来使用，还需要经过一系列发射镜片不断地矫正，才能成为可用光源。
在每次反射的时候，都会增加误差，这就要求镜面的平整度极高极高，必须比光刻尺度还要低上一千倍。
可怕的数据要求！
同时，对每块透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求，比如位置误差必须小于一纳米。
最后，也是最关键的一点，还必须要尽量消除光损失而产生的热量，以防止热变形从而影响光路。
即便如此，极紫外光在通过这些镜片时，仍然会有大约百分之三十的吸收率，最终真正用于光刻芯片的光强大概也就只剩下百分之二。
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