模组测试样机——不是仿的,是用我们自己的超精密抛光工艺,复刻的蔡司镜片基底。”
沈佳宜呼吸微滞。她当然知道这意味着什么。asml光刻机最核心的“心脏”,从来不是曝光系统或真空腔体,而是那套由十七片非球面透镜组成的极紫外光学系统。每一片镜片表面粗糙度要求低于0.12纳米,相当于把整个中国国土平整成镜面,起伏不能超过一张a4纸厚度。而蔡司,全球唯一能稳定量产此等精度镜片的厂商,其供应链早已被美国商务部列入实体清单。
“你们……怎么拿到的?”她声音发紧。
“不是‘拿’。”西海脚步未停,已走到车旁,朝周婕颔首示意,“是‘换’。用三套完整的14纳米fi工艺验证数据包,跟荷兰一家被制裁卡脖子的小型光学实验室,换了这批测试件。他们缺的是产线,我们缺的是时间。”
车门拉开,石妍翰跳下车,风衣下摆被风掀得猎猎作响。她手里拎着个铝制工具箱,箱体一角印着模糊的“carl zeiss ag”字样——那是被激光灼烧过又强行蚀刻上去的旧标,底下覆盖着一行崭新的、钢印般锐利的中文:“佳开光锥·基准校验版”。
“西海!”她快步上前,将工具箱往他怀里一塞,金属磕碰发出沉闷回响,“镜片基底已通过初步应力检测,热形变系数在±0.3纳米区间。但最关键的——”她压低声音,目光扫过四周闲散游人,“我们复刻的镀膜工艺,在13.5纳米波长下的反射率,比蔡司公开参数高出0.7%。”
西海单手托住工具箱,另一只手却迅速翻开箱盖。里面没有预想中的玻璃镜片,只有一块幽黑如墨的圆盘状基底,表面流淌着水银般的暗哑光泽。他指尖悬停在离镜面半寸处,仿佛怕惊扰了某种沉睡的活物。
“0.7%?”他喃喃重复,忽然低笑出声,笑声里竟有几分近乎悲怆的畅
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