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第一百四十六章:晶圆厂和光刻机厂建立(7 / 7)

间她只短暂地去了一次洗手间,吃了几口学生送来的盒饭,然后又立刻回到岗位上。

直到第二天傍晚,机器终于发出一声平稳的低鸣,所有参数指示灯恢复了稳定的绿色,她在学生的搀扶下从梯子上下来,脚步有些虚浮,却长舒了一口气:“好了,下一个。”

无尘车间是光刻机的核心区域,对恒温恒湿的要求近乎苛刻,但偏偏屋漏偏逢连夜雨,厂区的中央空调系统因为暴雨影响,调试进度滞后了。

赵东升工程师坐在轮椅上,眉头紧锁。

他看着温度计上轻微但足以毁掉精密光学元件的波动,果断下达命令:“不能等!立刻搭建临时保温棚!就用加厚防静电pvc布,把光刻机工作区整个罩起来!”

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