深城,南方光学,这是一家仙女山控股投资创办的企业,在收购了一家颇有历史的光学企业之后,大力招揽光学领域的人才。
依托国内现有的一些供应链,南方光学在去年的时候先是搞定了可商用的i-line光刻机的光源系统,随后去年又搞定了krf光源系统,协助海湾科技搞出来了krf光刻机,并进行了商用化。
目前正在进行duv干式光刻机所需要的arf光源系统的研发。
如今的南方光学,已经迅速成长为国内光学领域里的龙头企业,其实力已经超过了国内其他的一些光学企业。
但是即便如此,技术积累也严重不足,搞arf光源的时候遇到了无数的麻烦,不久前的光源测试又失败了。
这让南方光源的一群核心研究人员愁眉不展!
“这么下去不行啊,我们的研发进度已经拖延了不少,海湾科技那边都已经把机台搞出来了,就等着我们的光源呢。”
“上一次的测试失败,关键还是材料问题,其中的几种材料因为性能参数太低,我们不得不采用了多种折衷的办法来实现设计效果,但是绕了太多弯路,导致整个系统太复杂,故障率也是水涨船高!”
“这样的光源系统看似是做出来了,但是根本没办法用于商用!”
而就在这个时候,南方光学的科研老大,来到了仙女山控股总部公司里,看到了一枚小小的闪存芯片。
随后打开,并输入了复杂密码对内部储存的文件进行了解密后,这个负责人眼睛都呆住了。
“这些资料从哪里来的?”
“这是euv光源系统的整体设计啊,而且还如此的详细,涉及到了每一项零配件的详细参数!”
“还有这个arf光源系统,这不就是asml现在的duv光刻机上用的光源系统嘛?你们怎么弄来
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