rf光源系统，这套光源系统是波长193纳米的，而且不是之前的那种测试用的光源，而是可以直接使用的光源！”
“北林精密的双工作台做起来虽然难一些，做起来的性能参数不如国外同类产品，但是勉强也可以用！”
“其他的几个子系统如今大多也做的差不多了，就等着光源那边搞定，然后我们就尝试搞一台样机出来了！”
徐申学面带微笑听着，时不时喝口茶：“这是大好事啊，有了这个duv干式光刻机，那么智云半导体那边的六十五纳米工艺节点也就有了自家的光刻机可用了！”
“加油干，光刻机乃是半导体产业链里的核心设备，尽快搞出来，此外其他的一些关键设备也不能落下，记得我们的目标，不是单纯的光刻机，而是整条生产线上的关键设备。”
“能搞的都要搞，搞不了的也要强行搞，我们要的不是一台孤零零的光刻机，而是一整套的先进工艺芯片生产线，所以其他的几种关键设备也要尽快进度。”
王道林道：“明白的，我们海湾科技里的项目是非常多的，前道光刻机也只是我们公司里的其中一个重要项目而已，我们在后道光刻机领域上也进展非常快，已经大量给智云微电子乃至其他一些芯片厂商供货了，而且我们的后道光刻机技术推进非常快速，已经迭代了第三代，我们的第三代后道光刻机，甚至都可以满足三十二纳米乃至潜在更低的二十八纳米制程工艺的生产了，并且在生产效率上并不会比国外同类产品差。”
“同时我们的成本更低，售价更低，维护以及耗材费用也更低，在市场上具有很不错的竞争力。”
“甚至是一些国外的芯片工厂已经开始咨询我们，尝试采购我们的第二代或第三代后道光刻机了！”
“然后还有蚀刻机项目、离子注入机这两项关键设备，也是我们公司的重点项目，我们
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