避免的。
但是不能因为侵犯专利就不做了。
把这东西做出来,真到了制裁的时候就能直接顶上去使用。
王道林道:“光源系统方面,我们已经算是整合的差不多了,基本达到了技术要求,剩下的还要对其他方面的系统进行整合,核心技术都没什么问题了,很多都是从duv干式光刻机里转化而来的,主要是一些系统整合上的细节问题,这需要一定的时间来打磨!”
“我们估计着,大概明年上半年,我们就能够拿出来第一台真正的样机进行各种测试。”
徐申学道:“明年的话,也差不多了,现在我们的duv浸润式光刻机进口还没有受到限制,你这边还有一些时间,继续好好打磨,争取明年弄一台堪用的样机出来!”
“至于大规模商用,因为这个专利问题还需要看整体的环境变化,如果没有太大环境上的变化,可能你们这边就要继续努力解决一些专利问题了!”
“最后,euv光刻机那边也不能放松了,现在duv浸润式光刻机都还好,而euv光刻机的话,按照我的预计是不太可能从外头获得了!”
“这未来我们集团能不能用上euv光刻机,能不能进军未来的先进制程领域,就要靠你们了!”
“任务还是很重啊,你们要加把劲了!”
王道林这个时候,面露难色:“euv的话,难度更大,虽然我们也获得了大量的euv的光源系统的资料,但是光有资料也不行,我们的部分基础技术还有不小的差距,给我们设计图纸我们现在一时半会的也搞不出来这个euv光源。”
“目前来说,整个euv项目,还是处于技术论证,针对性逐步解决一些底层的技术问题的阶段,虽然进度都还不错,但是需要解决的问题太多了,我们估计着怎么也要个五年以后才能够谈得上初步的核心子系统的
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