在后年，把这十多种核心设备的技术指标，全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”
”然后在这个基础上，继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进！”
“对此，我们的信心还是很大的！”
徐申学心中则是暗道：“二十个s级科研名额，百十多个a级科研名额都投在了仙女山控股体系下，如果你们还没信心，我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”
仙女山控股体系下的各企业，一向来是徐申学的科研名额的投入大户，每个月新增加的成就点所购买的s级以及a级别的科研名额，基本都是给仙女山控股体系这边用了。
智云集团那边除了智云微电子外，其他项目组，子公司都已经好久没有得到过a级以上的科研名额新增了，都是用原来的一些科研名额顶着，不过原来分配过去的高级别科研名额也不少，所以也够用了。
看完了诸多这些现成的核心设备，徐申学又了解了一番euv光刻机的研发进度。
王道林介绍道：“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业，对euv的多种关键技术进行集中攻关！”
“主要是euv光源系统，高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统，还有超高精度的真空双工件台。”
“除了光刻机本身的技术外，我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司，研发euv掩膜版，沉积工艺等等。”
“而我们负责主导的euv光刻机研发上，目前光源系统的进度是比较快速的，我们之前获取了完整了euv所使用极紫外光光源的技术资料，而经过我们数年的反复尝试和试验，已经算是制造出来了极紫外光的光源！”
“但是距离实用性还有一定的差距，我们的激光部分问题不大，但是在激光轰击锡滴的频率还是不够，无法达到技术资料上所
本网站为网友提供小说上传储存空间平台，为网友提供在线阅读交流、txt下载，平台上的所有文学作品均来源于网友的上传
用户上传的文学作品均由网站程序自动分割展现，无人工干预，本站自身不编辑或修改网友上传的内容（请上传有合法版权的作品）
如发现本站有侵犯权利人版权内容的，请向本站投诉，一经核实，本站将立即删除相关作品并对上传人ID账号作封号处理