率,这款光刻机用于成熟的130-250纳米工艺,该款光刻机我们的智云微电子里以及其他国内厂商大量采用,使用反馈很不错,乃是我们的诸多光刻机产品里,客户反馈最好的一款,成本低,容易维护,生产效率好,所以这一款光刻机我们的出货量还是比较大的,每年出货超过四十台!”
“duv干式光刻机,我们的初代型号是hduv-100,后续我们又推出了改进型号hduv-200以及300,最新的hduv-300型号,今年刚实现量产并供货,进一步提升了套刻精度,为客户提供更加良好的65工艺节点的生产,整体效率也进一步提升,降低芯片生产成本。”
“这系列光刻机,出货量也比较大,预计今年我们能够出货大概五十台以上,主要供给智云微电子,中芯等厂商以及其他几家国内厂商,主要用于55-90纳米工艺节点。”
“duv浸润式光刻机,是目前我们的核心产品,技术先进,售价也相对高昂,该系列光刻机也是目前我们公司的主要营收来源!”
前面几代的光刻机虽然也还有市场,不过这些老旧光刻机已经卖不出什么价了……毕竟落后芯片都卖不什么价格了,制造出这些落后芯片的落后光刻机,同样也卖不出什么价来。
当然,虽然价格低一些,但是依旧还有市场,并且市场还不小。
因为成熟光刻机,它除了可以直接生产成熟工艺的芯片外,也可以作为先进工艺芯片的辅助设备使用。
小知识,芯片的生产过程里,往往需要经过很多次的光刻机曝光,而其中的大部分曝光工序对光刻机的要求不会太高,因此可以由成熟落后的光刻机进行操作,以节省制造成本。
只有在核心曝光工序的时候,才会使用最先进的hduv-500型或类似asmlduv浸润式光刻机。
后续如果采用了
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