云微电子的先进工艺,则是需要仙女山控股旗下的各企业所能生产的半导体设备以及耗材的支撑!
所以,当仙女山控股旗下的海湾科技,正式向智云微电子交付首台量产型的euv光刻机的时候。
徐申学亲自出席了交付仪式!
威酷电子深城基地,全新建造的第二十九厂里,徐申学看到了这一台量产型euv光刻机。
海湾科技的ceo王道林一脸兴奋的向的徐申学介绍着这款euv光刻机:“现在的量产型euv光刻机,型号是heuv-300b,是之前的原型机heuv-300a机型的完善版本,经过长达一年时间的各种测试以及技术升级,我们先后发现并解决了一百多种技术问题,覆盖机台,曝光系统等各领域,并且提升了工作效率!”
“目前的我们这款heuv-300b光刻机,分辨率是十三纳米,数值孔径是三点三,套刻精度是二纳米,每小时可加工一百二十片的硅晶圆。”
“根据我们的情报来源,大概和asml的正在研发的euv光刻机性能相当!”
“实际上,我们还在对机台方面进行重大的技术升级,有望把加工速度提升到每小时两百片,不过目前该技术突破还处于实验阶段,为了稳妥起见我们并没有用在这一代的量产型号上,而是准备用在后续推出第二代量产型号上!”
这个时候,智云微电子的ceo丁成军也出来道:“我们是打算用这款heuv-300b光刻机,前期用以等效七纳米工艺的生产,而用了这款光科技拟后,我们的等效七纳米工艺的制造成本将会大幅度下降!”
“之前我们使用duv浸润式光刻机强行生产等效七纳米工艺的芯片,在制造成本上还是非常高的,目前来说只有一些顶级芯片才能承担这个成本!”
“高昂的成本,这也是我们之前规划duv浸
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