uv光刻机,其中二十六台heuv-300b光刻机,预计十月份开始,我们将会出货更先进的heuv-300c光刻机,预计今年剩下来的五个月里,预计出货四套该款光刻机!”
这个时候,王道林还向众人介绍了这款更先进的heuv-300c光刻机!
“对比第一代量产型的heuv-300b光刻机,我们的heuv-300c光刻机,拥有更高的套刻精度,达到了一点五纳米,可以满足更高精度的芯片生产需求,目前能够支持二十层的euv曝光,可以非常良好的支持等效五纳米工艺的芯片生产,乃至支持未来的等效三纳米工艺的生产!”
“并且光源功率也更高,生产效率也更高,其生产效率从heuv-300b型号的每小时一百二十片,提升到了heuv-300c的每小时一百八十片。”
“这将会带来先进工艺芯片的制造成本的整体下降,并进一步提升产能!”
“虽然这款heuv-300c光刻机的成本更贵,售价也更贵,但是我们认为这款光刻机拥有更高的性价比!”
一旁的智云微电子的丁成军道:“不错,我们智云微电子将会采用这款最新的heuv-300c光刻机量产等效五纳米工艺的芯片,后续的的等效三纳米工艺的前期生产,也将会使用这一款光刻机!”
“尽管heuv-300b型号的光刻机,同样能够生产等效五纳米工艺的芯片,但是因为等效五纳米工艺芯片所需要层数更多,使用heuv-300b光刻机的话,芯片良率不太行,生产效率不太行,成本过于高昂,所以我们已经暂停了使用这款光刻机制造五纳米工艺芯片的计划!”
第一代的heuv-300b光刻机的每小时生产效率只有一百二十片,对比heuv-300c的每小时一百八十片差了很多,再加上套刻精度的差距,最后
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