1ms,且不能有任何与晶圆表面直接接触的部件。
这意味着,用接触式温度传感器实地测量水温的方案完全不可行,响应速度不达标呀。
“唯一的办法是……前馈控制!”
李东无短板的0.2属性开始发挥作用。
“必须提前建立一个精准的映射模型。”
“这套系统的所有核心工况参数现在都是已知的。”
“我只需要通过预实验,标定出不同工况参数组合下,曝光狭缝内浸没液的瞬态温升Δt,再通过超纯水的折射率温度系数,推导出对应的Δn,最后直接把这个预标定的补偿值同步反馈给激光器,让它在激光出光的瞬间,同步完成Δλ的调整!”
想通了这一层,李东却感到一阵深深的无力感。
要建立这个无延迟的前馈预测模型,核心是什么?
是要精准描述高速扫描边界下,激光能量沉积、浸没液流动与瞬态热传导的耦合关系。
本质上就是要对(n-s方程)与瞬态热传导方程进行强耦合求解,建立起工况参数与Δn之间的精准数值映射。
李东看着草稿纸上自己列出的流体控制方程,苦笑了一声。
他懂波动光学,懂经典力学,懂热力学基本定律。
但他没有系统学过计算流体力学,也还没有掌握处理这种强非线性偏微分方程组的数值求解工具。
他能写出方程的形式,却无法完成工程化的模型标定与求解。
“陈老师说得对,我的知识,果然是一座座孤岛。”
“得早点把桥造好了……陈老师造的还是太过简陋了。”
李东放下笔,叹了口气。
“切入点我找到了,光学的核心原理完全通顺,工程实现的路径也清晰了,但落地的最后一步‘流热耦合前馈模型的构建与
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