当做一道物理题来解的。”
李东语气十分诚恳。
“那只是一条理论上极度完美的物理路径,但如果放在现实的工程环境里,它绝对落不了地。”
此话一出,林伟和陈老都愣住了。
“落不了地?”林伟毕竟是复大物理学系出来的博士,专业素养极高“你展开说说。”
“这题的核心难点,在于要求1ms内完成补偿,且不能有接触式测温元件。”
李东有条不紊的分析道。
“所以唯一的路,就是做前馈控制。”
“这就要求必须建立一个极度精准的映射模型,把1200mm/s扫描速度下的激光能量沉积、流体散热和瞬态温度场强行耦合起来。”
李东看着林伟的眼睛,抛出了最致命的一击。
“要实现这一点,必须在毫秒级的时间内,实时求解高雷诺数下的纳维-斯托克斯方程(n-s方程)与瞬态热传导的强耦合。但浸没液在高速扫描下是处于剧烈湍流状态的,甚至会因为激光加热产生微米级的气穴扰动。”
“目前的计算流体力学,根本无法在光刻机的控制系统内,用不到1ms的算力去实时预判这种混沌的湍流边界层!一旦预测出现微小的偏差,波长补偿就会出错,良品率直接清零。”
李东总结道。
“所以,这只是个漂亮的物理模型,工程上算力根本达不到,是个死局。”
林伟点了一支烟,深深的吸了一口。
他太清楚湍流和算力的瓶颈了。
刚才他只看到了光学理论的绝妙,居然被喜悦冲昏了头脑,忽略了流体力学在实时控制上的算力灾难!
就在这时。
“砰砰砰!”
办公室的门被敲响,张默满头大汗的推门而入。
他一抬头,
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