“再基于本征正交分解搭建了降阶预测模型,还在边界层贴近晶圆的微米级区域,加入了局部启发式流场修正算法!”
组员激动的指着数据曲线。
“结果显示,在额定扫描速度区间内,流热耦合带来的折射率场预测误差,被稳定控制在了光刻制程允许的容差范围内!”
“虽然只是个近似解,但前馈控制的响应延迟,已经被压缩到了理论上的300微秒!”
张默倒吸一口李东,感觉头皮一阵发麻。
“你算过没有?如果我们要彻底攻克这个算法瓶颈,把延迟压缩到 200微秒的量产硬指标以内,还需要多久?”
组员也冷静了下来,根据现实的数据反馈给出了一个评估。
“立刻落地肯定是不可能的,算力硬件和算法优化的缺口都在这里。”
“但是,只要按照现在这个大纲方向死磕,多砸点资源进去训练模型,大概一两年就可以解决。
对于半导体设备这种核心技术动辄以十年为研发周期的领域来说。
一两年就能完成从原理验证到量产落地,已经算得上是光速推进了。
听完这话张默感觉整个人都活过来了。
“好!非常好!你们继续跑数据,盯着模型收敛情况!”
张默一把抓起桌上的工作牌,离开了实验室。
一路快步来到顶层的总监办公室,张默敲了敲门。
“进。”
张默推门而入,发现林伟正站在打电话。
“行,你待会把你舅舅的地址给我,我会安排的……”
林伟挂断了电话,转过身看着张默。
“张默,有什么事吗?”
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