了理论设计的极限。
“这算成了吧!?沈工?”
随着卓邵文一声压抑着激动、带着微微颤抖的低呼,简易的紫外曝光灯亮起。
透过那精心倒置并调试过的显微镜物镜,在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。
沈永健此刻心情也不由得激动,点了点头回应道。
“成了,初步研制是够用了。”
身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”,虽然样子难看了些
整台机器零件颜色各异,但用是足够用了。
哪怕只是极其初步的验证,也标志着这台光刻机核心部分已搭建完成,具备了进行光刻实验的基础能力!
曹文三和曲崇瞪大了眼睛,他二人当下也松了口气。
事实上,这次设备的制造他二人只是打打下手,更多的就是学习而已。
此刻看着那在紫光灯下显现的细微光斑,虽然不甚理解其全部意义,但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终于舒展的、带着成就感的笑意,让他们明白,这应当是件了不起的大事。
经过反复确认使用效果,目前精度暂时勉强够用。
沈永健长舒了口气,连日紧绷的神经稍缓,拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
“邵文同志,辛苦了!这第一步,咱们算是迈出去了!”
“后续等真正的硅晶圆制成后,还有场硬仗要打。”
卓邵文用力点头,眼镜片后的目光依旧紧紧盯着那光斑,心中的激动难以言喻。
要知道这可是光刻机,哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自制光刻机,但在卓邵文的视角下,这就是真正的第一代。
“沈工,硅晶圆制成还得多久?”
…
“应该也就这几天吧?硅单晶炉轧钢厂那边
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