去的主要原因。
沈永健眉头微蹙，从边上的档案袋内取出上一代的步进重复光刻机图纸。
脑中仔细回顾原先的设计思路，包括这些年对于光刻机的一些想法积累，很快便动笔规划起新图纸。
关于光刻机的几代演进方向，他心中一清二楚。
真要只是从设计考虑，他能发挥的空间很大，哪怕是后世接近现代化光刻机也并非不可能。
但考虑到现实的生产条件，最后还是摇了摇头，将步进重复光刻机先试着升级为步进扫描光刻机。
步进重复与步进扫描，其实都算是步进式光刻机，但两者性能差距不小。
传统的步进重复是“静止曝光”，而步进扫描则是“动态曝光”。
在曝光瞬间，掩模台和硅片台不再保持静止，而是按照精确的缩小比例进行同步反向移动。
照明光线只通过一个狭长的“狭缝”对硅片进行扫描式曝光。
一边设计，沈永健一边在纸张上推导着各类公式，对设计本身进行着验证。
步进扫描的镜头视野覆盖面积会更大。
扫描过程中，光源波动的曝光不均匀局部缺陷，也会尽可能的被“平均”掉。
一连几天，沈永健都将心思花在了新一代光刻机改进上。
别看都是步进式光刻机，但实际的改进难度极大，所有的一整套设备都需要进行更高标准的更新。
“沈委员，按照您的描述，投影物镜这块应该没问题。”
“只是您说的激光传感器…暂时还需要时间，我们所里对激光这个方向还未有过研究…”
话筒里说话的是北春所的申所长。
对于投影物镜这一块的新标准，北春所这些年一直在投入精力研究，也有信心在短时间内满足沈永健的需求。
唯独这激
本网站为网友提供小说上传储存空间平台，为网友提供在线阅读交流、txt下载，平台上的所有文学作品均来源于网友的上传
用户上传的文学作品均由网站程序自动分割展现，无人工干预，本站自身不编辑或修改网友上传的内容（请上传有合法版权的作品）
如发现本站有侵犯权利人版权内容的，请向本站投诉，一经核实，本站将立即删除相关作品并对上传人ID账号作封号处理