毫停顿。
“气浮导轨水平度微调完毕，直线电机定子锁紧。”
刘师傅盯着手中的高精度水平仪，声音透过口罩传出。
杜师傅负责硅片台的安装，这会儿扭矩扳手刚刚放下，配合着刘师傅对掩模台等设备的联通装配。
沈永健这会儿也加入了二人的组装工作，将才研制完成的激光干涉仪安装在关键位置。
由于零配件众多，且安装步骤极为复杂，每次安装到一定程度，还需要进行检验与修正，使得整个安装花费时间不少。
从上午八点到下午六点，中间一共短暂休息了四次，这台崭新的步进扫描光刻机才正式安装完成！
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