机，开启正式的工作安排。
卓邵文熟练的操作下，车间顶部加装的空气净化系统发出低鸣，开始持续过滤着微尘。
“温度湿度42%，符合光刻要求！”
…
“克勤同志，上硅片。”
周克勤此刻也已守在小型操作台旁，面前早已备好了数片经过严格清洗，氧化，并在涂胶机上均匀旋涂了光刻胶的硅圆片。
在沈永健的示意下，用真空吸笔小心翼翼地取出一片，精准地放置到光刻机的工作台上。
工作台在精密电机驱动下发出几乎微不可闻的“嗡”声，将硅片吸附固定。
卓邵文此刻也操作起控制面板，巨大的显微镜目镜被降下，屏幕上显示出硅片边缘的对准标记。
张伟森与顾江河二人轮流将掩膜版极其谨慎地插入光刻机的专用夹具。
此刻车间内人虽不少，但却静得可怕。
都屏气凝神，望着参与具体工作的几位同志。
“开始粗对！”
沈永健的声音低沉。
工作台和掩膜版架在步进电机的驱动下开始微动。
很快硅片上的标记与掩膜版上的标记开始重合。
“粗对完成。”
…
“进入精对！”
随着沈永健有条不紊的指挥，卓邵文紧听其号令，在精调旋钮上以几乎难以察觉的幅度转动。
十几秒的精细调整后，两个标记完美重合！
“对准完成！锁定！”
卓邵文的声音带着一丝不易察觉的颤抖，额角已渗出汗珠。
“设置曝光剂量…启动！”
话音落下的瞬间，高强度的汞灯光源再次提亮，经过复杂的光路系统和那个崭新的高精度物镜，将掩膜版上的精细图形按比例缩小，精确地
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