投影到硅片表面的光刻胶上。
被光线照射区域的光刻胶发生化学反应。
整个曝光过程只有几秒钟,但紫光透过观察窗映在众人脸上,气氛庄严而神圣。
曹文三和曲嵩等人在一旁,下意识地咽了口口水。
“步进!”
第一个区域曝光完成,工作台在精密导轨带动下,精确移动一个芯片的距离,将下一个未曝光的区域移动到镜头下。
对准系统再次快速进行局部微调,然后再次曝光。
如此反复,直到整片硅片的所有芯片区域都完成这一层图形的曝光。
张伟森紧盯着控制屏上的进度条,顾江河则紧张地记录着步骤。
12英寸的晶圆,光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。
三片晶圆全都完成后,时间早已到了下午一点多。
曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热,以稳定曝光图形。
之后则被其放入显影槽进行显影工作。
一步步的流程之后,最终才进入蚀刻阶段。
一直到晚上六点多,三片晶圆的流片工作才结束。
众人无论是有操作工作的,还是车间内等待的同志,都已经空了一整天肚子。
但这会儿众人非但不累,反而愈发激动与紧张!
随着吴培书将蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去,清洗干净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。
沈永健此刻已等在此处,调整着显微镜的焦距,进行最后的测试工作。
镜头在硅片表面缓慢移动,车间里鸦雀无声,只能听到自己的心跳和呼吸声。
每个人都死死盯着沈永健的背影和他放在目镜上的手。
卓邵文,顾江海与吴培书等人也已退出操作区,等在边上同样
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