产能,去生产成熟便宜,利润也比较低的产品。
所以,海湾科技把heuv-300b光刻机的价格标的比较高,简单直白的告诉客户:别买这玩意了,来买heuv-300c啊!
最后客户一算,heuv-300c虽然贵很多,但是综合使用成本性价比还要更好,所以也不抗拒。
别说智云微电子了,现在中芯采购euv光刻机,都是采购heuv-300c型了,只是他们没啥钱,买的很少。
现在的heuv-300c光刻机还是相当不错的,都能够用来勉强生产等效三纳米工艺的芯片了……智云微电子的第一代三纳米工艺,就是用这款光刻机做的。
当然,只是初步满足等效三纳米工艺的需求,良率以及成本上还是有所不足。
如果要更好,更快,更低成本的制造等效三纳米乃至二钠米等一系列euv双重曝光工艺的芯片,那么就需要更新型,目前海湾科技那边刚完成原型机研制,还没有开始供货的heuv-300d!
这是一款套刻精度达到了惊人的1纳米的顶级euv光刻机,专门为了euv双重曝光工艺而研发。
不出意外的话,这也将会是heuv-300系列光刻机的终极产物……因为到这个阶段,光源波长已经没办法缩减了,单次曝光的金属间距被限制在了26纳米左右,用在单次曝光制造五纳米工艺就是极限了。
要制造三纳米工艺的话,就需要进行双重曝光,这也是300d光刻机的主要技术进步特征,进一步缩小了套刻精度,使得双重曝光的良率更高,成本更低。
然后到了二纳米工艺呢?一点五纳米工艺?一纳米工艺呢?
现在的euv光刻机可就不太好用了。
怎么办?换个方向进一步缩小光刻机的极限金属间隔!
光刻机里,
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